sp; 简单自我介绍一番,他进入到正式讲解环节,花了足足半个小时,科普EUV光刻机之难。
“光源系统,为了获得13.5纳米的极紫外光,必须用UV击打液态金属锡……”
“双工台模块运动的误差必须小于2纳米,初始加速度大于导弹发射……”
“为了过滤杂光,锅盖反射镜片内部足有四十层,表面加工误差不得大于1纳米……”
“还有就是组装技术,即便每个模块的精度都达标,组装的过程中,也必须确保误差几乎为零……”
“综上我们能得出结论:制造一台EUV光刻机的难度,至少是氢弹的十倍。”
“如此高端的工业制造技术,理论上,华国还要十年时间,才能逐渐吃透和掌握,但……”
轰地一声。
身后大屏幕上,落下两行大字:
黑洞科技,提前攻克高端制造技术
暴龙EUV,于今天宣布制造成功!
“哇~”
观众躁动一片,齐齐惊呼出声,甚至起身站立。
当然口说无凭,接下来的一个小时,蒲伟才开始讲述国产暴龙EUV的种种技术特点。
132纳米激发光源,激发效率是193纳米光源的两倍多。
金属液锡的击打频率,从最开始的50次,500次,5000次,逐渐达到可以使用的2万次,最终追平国外的每秒5万次!
国产锅盖镜片,反射率为82%(国外为70%),经过20次反射后,最终能量利用率达1.89%,艾思迈EUV只有0.08%。
综合曝光功率,超过了625W,是艾思迈EUV的2.5倍。
至此。
国产EUV按理说已经具有了足够的领先优势,完全可以宣布成功,并且将产品投放市场。
“不够,领先这点程度还不够!”
台上的蒲伟才摇着头道:“因为光源系统极高的工作稳定性,索性,我们砍掉了复杂程度极高的‘纠偏系统’,再加入一台‘光源系统’,用两台超稳定的光源系统,交替工作,彻底代替纠偏系统,如同按上了两颗强有力的心脏,其可靠性不会比一颗心脏+纠偏系统差多少,并让整个系统大为简化,降低了生产成本。”
“除此之外!”
“两颗心脏如果同时开展工作,同时产生EUV光源,那么这台暴龙EUV,将进入‘狂暴状态’!”
“狂暴状态下,光刻功率翻倍,加工晶圆的能力翻倍,生产效率陡然翻倍。”
“该状态下,十分钟内加工出的晶圆数量,超过艾思迈EUV工作一小时的数量。”
“一台暴龙,胜过六台艾思迈!”
“这就是所谓的狂暴模式!”
哇~
哇哇!
台下惊呼声一片,所有人都起身站了起来。
直播平台的弹幕中,也是一片的“牛逼”、“卧槽”、“怎么可能”、“真这么牛叉”的评论,无数网友被惊掉一地下巴。
“一台要比六台强,这超出的不是一点点,简直是天顶星科技了!”
龙耀公司的于大嘴坐不住了,都想冲到台上,带走蒲伟才,让他领自己去看看那台暴龙EUV了。
“那么那台暴龙EUV在那呢?”
这时,台上的蒲伟才接着道:“肯定有人问,我刚刚对着PPT讲了那么多技术原理,PPT里吹的那么厉害,真机又在那里呢?我们准备的现货产品呢?”
“不要急,接下来交给工厂,马上开始真机操作展示,进入现场直播环节!”
轰!
所有人都精神一振,不论现场观众还是看直播观众,都全体站立,挺直了脖子。
目光死死盯着正在工厂内部进行的真机演示画面。