关灯
护眼
字体:

第九十五章 狂热

首页书架加入书签返回目录

请安装我们的客户端

更新超快的免费小说APP

下载APP
终身免费阅读

添加到主屏幕

请点击,然后点击“添加到主屏幕”

    老板工作间。

    一个又一个的零件被打磨了出来。

    得心应手地操控着小黑,工业加工方面,卫明不断创造出精度的极限。

    只要先制造出一批精确度达到0.1纳米的“尺子”。

    再根据这些尺子,加工所需要的零件,建立一套可参考对照的精准体系。

    如果出现累积误差,就手动修正一番,让整体的误差范围不会超过1纳米。

    卫明甚至会亲自参与到耗费时间极多的“组装”过程中,利用小黑的扫描半径,其他操作手至少得半小时才能装好的一个零件,他3分钟内就能实现精确安装。

    并修正了多处地方的安装误差。

    整个系统的稳定性大大提高。

    让12个精密的子系统,逐渐变成一个能进行精确联动的大系统。

    接下来的半个月。

    光刻机研发部,刷新一个又一个数据记录,每天都有爆发式的欢呼,从厂房里发出。

    “锡滴释放频率每秒5万次,持续工作33分27秒。”

    “每秒5万次,持续工作38分15秒!”

    “每秒5万次,持续工作47分48秒!”

    “每秒5万次,持续工作59分52秒……接近一个小时,光源系统磨合到完美程度,这是不可能被超越的一个极限!”

    不过还有一个极限,不是不能突破。

    “既然我们的光源系统稳定性这么高,索性,我们不做复杂麻烦的‘纠偏系统’算了!再往里加入一组光源,构成‘双光源系统’,光刻机正常使用情况下,只让一组光源进行工作,每次工作半个小时,另一组光源进入休息调整状态,半小时后接替工作,轮流换班,减少累积误差。”

    “此外这台机器还有一个‘狂暴模式’,那就是让两套光源系统,同时投入工作,每秒10万粒的锡滴,20万次的击打,产生超过1250瓦能量强度的极紫外光,这个光强是艾思迈光刻机250瓦的5倍之高,比普通DUV光刻能量也强悍的多。”

    “狂暴模式下,这台光刻机每小时至少能处理600片以上的晶圆,艾思迈他们只能处理125片,我们的效率高出四五倍!”

    “而且能量密度越高,光刻出的清晰度、锐利度也越高,这能显著提高芯片的质量和良率,减少多重曝光次数,更容易实现3纳米芯片的制造,帮助我们从开始的7纳米,越过中间的5纳米,快速过渡到最新的3纳米,实现跳跃式的发展!”

    “让我国的芯片制程工艺,最短时间内追赶上海外最先进水平!”

    蒲伟才的技术团队中,一位名叫罗聪的研究员,提出了一个叫“狂暴模式”的构想。

    他这个构想的天才之处,一方面彻底砍掉了“纠偏系统”这个大麻烦。

    另一个,“狂暴模式”的种种优势之处,又令人呼吸加重,眼里射出精光。

    当然,“狂暴模式”也有缺陷,那就是对散热系统提出了更高的要求,五倍的能量强度,意味着要散去五倍以上的热量。

    蒲伟才简单计算一番就得出结果:为防止系统过热,狂暴模式最多只能持续3~5分钟,除非每分钟用掉1万升以上的冷却水,才可能延长些许持续时间。

    但就算如此,这个模式依然有巨大的实用价值。

    所以包括蒲伟才在内,都支持加入这个模式,再增强系统散热能力,让“狂暴模式”至少能持续10分钟左右。

    于是又接下来的半个月。

>
本章未完,点击下一页继续阅读
上一章目录下一页

请安装我们的客户端

更新超快的免费小说APP

下载APP
终身免费阅读

添加到主屏幕

请点击,然后点击“添加到主屏幕”